超声波扫描显微镜缺陷检测

测量精度：≥50μm

样品尺寸：≤450mm×340mm×100mm（根据材料特性，一般厚度≥2mm）

测试周期：10个工作日

测试费用：面议

一、测试原理

超声波在介质中传播时，若遇到不同密度或弹性系数的物质，会产生反射回波，而此种反射回波强度会因材料密度不同而有所差异，扫描声学显微镜（SAM）利用 此特性来检出材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成图像，超声换能器能发出一定频率（1MHz~230MHz）的超声波，经过声学透镜聚焦，由耦合介质传到样品上。超声换能器由电子开关控制，使其在发射方式和接收方式之间交替变换。超声脉冲透射进入样品内部并被样品内的某个界面反射形成回波，其往返的 时间由界面到换能器的距离决定，回波由示波器显示，其显示的波形是样品不同界面的反射强度与时间（或距离）的关系。通过控制时间窗口的时间，采集某一特定 界面的回波而排除其它回波，超声换能器在样品上方以二维方式作机械扫描，通过改变换能器的水平位置，在平面上以接卸扫描的方式产生一幅反射声波随反射平面 分布的图像。

Sam利用声波对于不同介质反射或者透射强度的不同来进行测试。C-sam是c型反射，可以用来扫描某一层的性状，其分析如下：一般情况下如果聚焦的2层之间区域是黑色的说明这相交面一直到器件表面某处有空洞；如果是红色的，就代表在所检测的那层相交面上是有空洞的。颜色是根据其特有color map来判断，从正波到负波颜色变化为白色一红色，可以通过图片左侧颜色条看出来。白色代表遇到从密度小的物质进入密度很大的物质，红色正好相反，黑色代表遇到空气或者真空，声波没有反射或者透射过去，导致接收声波的探头没有接收到信号。T-scan就是through scall．是检测体内，也就是从上表面到下表面所有层面的检测。根据color map，如果发现黑色区域就代表包含区域的垂直体内含有空洞。

二、设备简介

DTSAT600超声扫描显微镜是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备，主要利用高频超声波，对各类半导体器件、材料进行检测能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷，并以图形的方式直观展示。在扫描过程中，不会对样品造成损伤，不会影响样品性能，可有效满足新能源、半导体、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。

三、示范案例

扫描碳纤维板内部结构

扫查金刚石复合片实例

扫查金属板实例

高端材料晶粒的流向检测

四、应用领域

锂电池、塑封IC、光电器件、微波功率器件、MEMS器件、倒装芯片、堆叠Stacked Die、MCM多芯片模块、金刚石复合片、电器接件、陶瓷材料等。