超声波扫描显微镜发展历史

1974年，R.A.Lemons和C.F.Quate于美国斯坦福大学微波实验室开发了第一台采用50MHz探头的超声波扫描品微镜(SAM)。

1980年，俄罗斯科学院生物物理内窥镜实验室R.Gr梅夫(Maev)和他的学生搭建了第一台高分辨率(频率高达500MHz)的透射式超声波扫描显微镜SAM。

第一台商用超声波扫描显微镜SAM ELSAM在Ernst Leitz GmbH由马丁·霍普(martin Hoppe)和他的顾问带领的小组阿卜杜拉·阿塔拉(Abdullah Atalar)(斯坦福大学)，罗曼·梅夫(Roman Maev)(俄罗斯科学院)和安德鲁·布里格斯(牛津大学)联合制造，工作在100MHz至1.8GHz的宽频率范围。

1990年，世界上第一台频率超过GHz的超声波扫描显微镜

1991年，世界上第一台在超声波扫描显微镜中做出GHzV(z),V(f)定量测量系统

1996年，推出世界上第一台数字超声波扫描显微镜

1998年，世界上第一个做出带有球面透镜的超声波扫描显微镜换能器

2002年，世界上第一个在超声波扫描显微镜上实现材料阻抗测量

2004年，世界上第一个在超声波扫描显微镜扫描控制平台中采用空气垫悬浮线性马达驱动的超高精度X-Y扫描系统

2004年，世界上第一个实现超声波扫描显微镜自动对焦系统，并受到专利保护

2004年，世界上第一个实现多探头同时扫描大件样品的超声波扫描显微镜系统，并受到专利保护

2009年，首台国产超声波扫描显微镜荣获“第四届(2009年度)中国半导体创新产品和技术”奖