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超声扫描显微镜(SAM)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,主要利用高频超声波,对各类器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展···
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